美国颇尔PALL LCS4HEAH 强酸化学品过滤滤芯应用案例 【微电子行业・光刻胶前驱体化学品净化场景】

 

美国颇尔PALL LCS4HEAH 强酸化学品过滤滤芯应用案例

【微电子行业・光刻胶前驱体化学品净化场景】

某高端光刻胶制造商在其电子级化学品（硫酸、双氧水混合液）纯化工艺中，采用 PALL 颇尔 LCS4HEAH 滤芯。该滤芯采用高纯改性 PTFE 滤材，耐强氧化性酸、耐 HF，工作温度≤100℃。

不对称孔径结构，0.5μm 超高精度，99.999% 杂质截留效率。超纯材质无金属离子（Na、Fe、Al 等）溶出，满足半导体 SEMI C1 标准PALL。原用 PP 滤芯耐氧化性不足，寿命短、金属离子析出超标。LCS4HEAH 稳定运行 6 个月，化学品金属杂质控制在 ppt 级PALL。有效保障光刻胶纯度，提升下游芯片制程良率，解决强氧化性化学品高精度过滤难题。


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